设备

中国半导体设备制造商：

公司	主要产品	根据地	备注	上市
北方华创	ICP，RIE, PVD, CVD, cleaner, oven	北京
中微公司	ICP， RIE，MOCVD			科创板
上海微电装备		上海
华海清科	CMP	天津	与清华合作
盛美半导体盛美半导体	湿法清洗设备	美国/上海	美国公司
芯源微	spin coater and developer		LED, IC 封装用
长川科技	测试，封装设备
精测电子	平板显示检测系统
矽电	芯片测试探针台	深圳	8-12 寸晶圆和LED测试机
和创联合	芯片测试探针台	北京
屹唐半导体	plasma and rapid thermal processing equipment	美国， HQs in Beijing
科沛达	清洗设备	常州市